CAFS3000系列氣體質(zhì)量流量傳感器是采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片制作，適用于各種清潔、相對(duì)干燥性微小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制使用，特殊的封裝技術(shù)使得相同口徑下的產(chǎn)品可以滿足不同范圍的流量測(cè)量，同時(shí)確保高靈敏度，高可靠性，高穩(wěn)定性和低成本。產(chǎn)品應(yīng)用十分廣泛。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、 精度高（ 1.5％F.S精度）
2、 線性輸出和無(wú)需溫度補(bǔ)償
3、 以最小的零漂保持長(zhǎng)期穩(wěn)定性
4、 固態(tài)傳感核心（無(wú)表面空洞戒易碎膜），抗堵塞和壓力沖擊
5、 模擬輸出（ 1-5 V）（也可提供I2C數(shù)字輸出）
6、 快速響應(yīng)時(shí)間（ 1 ms響應(yīng)時(shí)間）
7、 流量范圍寬 0sccm-2000sccm
8、 能夠適應(yīng)于相對(duì)潮濕性氣體測(cè)量
產(chǎn)品應(yīng)用：
一、制氧機(jī)
二、防毒面罩和呼吸器
三、噴霧器
四、持續(xù)氣道正壓通氣（CPAP）設(shè)備
五、麻醉分娩
六、檢漏
七、光譜儀
八、質(zhì)量流量控制器
九、通訊系統(tǒng)
十、環(huán)境氣候控制
性能參數(shù)：
電器特性
|
測(cè)試條件：VIN=12±0.01VDC，Ta=25°C。相對(duì)濕度：40％<相對(duì)濕度<60％
最大工作溫度范圍-25°C至+85°C
|
規(guī)格
|
CAFS3000
|
最小值
|
正常值
|
最大值
|
單位
|
備注
|
流量范圍
|
0
|
—
|
2000
|
sccm
|
可定制
|
供電電壓
|
8
|
12
|
24
|
V
|
|
電流
|
20
|
|
15
|
mA
|
|
最大電壓輸出
|
4.94
|
5
|
5.02
|
V
|
|
零點(diǎn)電壓輸出
|
0.98
|
1
|
1.02
|
|
|
精度
|
|
1.5
|
2
|
%FS
|
|
耐壓
|
|
0.3
|
|
MPa
|
可定制
|
分辨率
|
|
0.1
|
|
%
|
全量程
|
響應(yīng)時(shí)間
|
|
20
|
30
|
ms
|
|
零點(diǎn)漂移
|
|
0.2
|
|
%Year
|
全量程
|
溫度漂移
|
|
|
4
|
%
|
0℃-50℃
|
整體材質(zhì)
|
碳化硅，環(huán)氧樹(shù)脂，聚苯硫醚，FR4，硅作為密封材料
|
外形尺寸：
1、3針輸出方式（模擬電壓輸出）
