CAFS3000系列氣體質(zhì)量流量傳感器是采用微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片制作，適用于各種清潔、相對干燥性微小流量氣體的測量和過程控制使用，特殊的封裝技術(shù)使得相同口徑下的產(chǎn)品可以滿足不同范圍的流量測量，同時確保高靈敏度，高可靠性，高穩(wěn)定性和低成本。產(chǎn)品應(yīng)用十分廣泛。
產(chǎn)品特點：
1、 精度高（ 1.5％F.S精度）
2、 線性輸出和無需溫度補償
3、 以最小的零漂保持長期穩(wěn)定性
4、 固態(tài)傳感核心（無表面空洞戒易碎膜），抗堵塞和壓力沖擊
5、 模擬輸出（ 1-5 V）（也可提供I2C數(shù)字輸出）
6、 快速響應(yīng)時間（ 1 ms響應(yīng)時間）
7、 流量范圍寬 0sccm-2000sccm
8、 能夠適應(yīng)于相對潮濕性氣體測量
產(chǎn)品應(yīng)用：
一、制氧機
二、防毒面罩和呼吸器
三、噴霧器
四、持續(xù)氣道正壓通氣（CPAP）設(shè)備
五、麻醉分娩
六、檢漏
七、光譜儀
八、質(zhì)量流量控制器
九、通訊系統(tǒng)
十、環(huán)境氣候控制
性能參數(shù)：
電器特性
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測試條件：VIN=12±0.01VDC，Ta=25°C。相對濕度：40％<相對濕度<60％
最大工作溫度范圍-25°C至+85°C
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規(guī)格
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CAFS3000
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最小值
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正常值
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最大值
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單位
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備注
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流量范圍
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0
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—
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2000
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sccm
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可定制
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供電電壓
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8
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12
|
24
|
V
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電流
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20
|
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15
|
mA
|
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最大電壓輸出
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4.94
|
5
|
5.02
|
V
|
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零點電壓輸出
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0.98
|
1
|
1.02
|
|
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精度
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|
1.5
|
2
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%FS
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耐壓
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0.3
|
|
MPa
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可定制
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分辨率
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0.1
|
|
%
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全量程
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響應(yīng)時間
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20
|
30
|
ms
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零點漂移
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|
0.2
|
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%Year
|
全量程
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溫度漂移
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|
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4
|
%
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0℃-50℃
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整體材質(zhì)
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碳化硅，環(huán)氧樹脂，聚苯硫醚，FR4，硅作為密封材料
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外形尺寸：
1、3針輸出方式（模擬電壓輸出）